SPT-20, là một thiết bị được sử dụng để phủ các vật liệu dẫn điện (Au, Pt, Pd, Pt-Pd) lên bề mặt mẫu bằng cách sử dụng phún xạ DC.

Khi các  mẫu không dẫn điện được sử dụng để quan sát dưới kính hiển vi điện tử, chúng cần được phủ 1 màng mỏng các vật liệu dẫn điện lên bề mặt, để bảo vệ bề mặt mẫu khỏi chùm điện tử được đưa vào và giúp dòng điện tử có thể chạy qua.  Đây là thiết bị cần thiết khi sử dụng SEM cho các vật liệu không dẫn điện, ví dụ Ceramic, Plastic...

Đặc điểm nổi bật:

1. Điều khiển, hiển thị kỹ thuật số

2. Tốc độ phủ mẫu nhanh, thao tác đơn giản

3. Lớp phủ đồng đều nhờ sử dụng chức năng Current Feedback 

4. Có thể lựa chọn vật liệu khác nhau để làm bia ion

5. Máy bơm tạo áp có độ ồn thấp, chất lượng ổn định

Tên gọi khác: Máy phủ mẫu SEM  / Thiết bị chuẩn bị mẫu SEM