Kính hiển vi công nghiệp Nikon ECLIPSE LV150N là kính hiển thị mẫu vi quang học thẳng (kính hiển vi thẳng đứng) cao cấp, được Nikon thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng kiểm tra, phân tích và đo lường trong môi trường công nghiệp, đặc biệt là trong các loại sản phẩm bán dẫn, thiết bị điện tử, vật liệu và linh kiện kim loại.
Sử dụng hệ thống quang học CFI60 (Chrome-Free Infinity) của Nikon, mang lại hình ảnh rõ ràng, sắc nét, độ tương phản cao và hiệu chỉnh quang sai xuất hiện trên toàn bộ khung nhìn.
Hệ thống này cho phép khoảng cách làm việc dài (khoảng cách làm việc dài), tạo ra không gian rộng rãi để vận hành mẫu vật và sử dụng các phụ kiện.
Độ linh hoạt cao trong các phương pháp khảo sát:
Trường sáng (Brightfield): Phương pháp sát cơ bản và phổ biến nhất.
Trường tối (Darkfield): Giúp ngăn chặn các vết bẩn nhỏ, vết trầy xước hoặc các cấu trúc có độ tương phản thấp trên bề mặt mẫu vật.
Phân cực (Ánh sáng phân cực - POL): Để kiểm tra vật liệu có tính chất lưỡng chiết quang như polymer, tinh thể, hoặc kiểm tra ứng dụng trong vật liệu.
Sai số tương phản nhiễu vi sai (Độ tương phản nhiễu khác biệt - DIC): Cung cấp hình ảnh có độ tương phản cao và hiệu ứng 3D cho các mẫu vật không màu và trong suốt, giúp xem các chi tiết bề mặt nhỏ.
Chiếu sáng nghiêng (Chiếu sáng xiên): Bằng cách sử dụng khẩu độ nghiêng iris, có thể tạo ra hiệu ứng sáng mịn, làm nổi bật các chi tiết bề mặt.
Cài đặt mẫu chắc chắn và chính xác:
Cung cấp nhiều loại bàn đặt mẫu (giai đoạn) khác nhau, bao gồm bàn đặt mẫu bằng tay (giai đoạn thủ công) và bàn đặt mẫu điều khiển bằng cơ sở (giai đoạn có động cơ) với quá trình chuyển đổi lớn và độ chính xác cao.
Thiết lập mẫu lớn, cho phép đặt và quan sát các mẫu vật lớn, nặng như bảng, tấm wafer hoặc các máy chi tiết.
Một số bàn đặt mẫu có thể tích hợp các thang đo kỹ thuật số để đọc vị trí chính xác.
Hệ thống chiếu sáng mạnh mẽ và linh hoạt:
Thường sử dụng đèn điện halogen công suất cao (ví dụ: 12V/50W) hoặc tùy chọn đèn LED để cung cấp độ sáng và độ ổn định.
Khả năng điều chỉnh cường độ hoạt động của linh hoạt.
Bộ phận chiếu sáng truyền qua (Chiếu sáng bằng kính chiếu) và chiếu sáng phản xạ (Chiếu sáng bằng kính hiển vi) có thể được lựa chọn tùy chọn theo loại vật mẫu.
Thiết kế chắc chắn và ổn định:
Kính mong được tạo chế độ cứng, giảm bậc thang tối thiểu, đảm bảo ổn định cao khi quan sát ở chế độ phóng to và thực hiện các phép đo chính xác được phép.
Khả năng tự động hóa và tích hợp phần mềm:
Các phiên bản có động cơ hóa (như bàn đặt mẫu, bộ phận thay đổi vật kính - ống kính có động cơ) có thể tích hợp với phần mềm điều khiển và hình ảnh phân tích của Nikon (ví dụ: NIS-Elements).
Phần mềm cho phép chụp ảnh, đo lường tự động, phân tích hình ảnh, tạo báo cáo và quản lý kết quả hiệu quả, đặc biệt hữu ích trong quá trình kiểm tra quy trình tự động.
Khảo sát đầu tiên và dạng đa kính:
Cung cấp nhiều loại đầu quan sát khác nhau (hai mắt, ba mắt) để phù hợp với nhu cầu sử dụng và khả năng gắn camera.
Dòng vật kính LV Plan Fluor, LV Plan Apochromat cho hiệu suất quang học cao và độ phân giải xuất sắc.
Ứng dụng tiêu biểu: Nikon ECLIPSE LV150N là dòng máy lý tưởng cho:
Kiểm tra chất bán dẫn: Kiểm tra wafer, mạch tích hợp (IC), bán dẫn sự kiện.
Điện tử: Kiểm tra bảng mạch trong (PCB), linh kiện điện tử, mối hàn.
Khoa học vật liệu: Quan sát cấu trúc kim loại, gốm sứ, polymer, composite, phân tích pha, kích thước hạt.
Sản xuất cơ khí chính xác: Kiểm tra chiều rộng, đo lường các chi tiết máy.
Ô tô và hàng không vũ trụ: Kiểm tra các bộ phận quan trọng, phân tích vật liệu.
Nghiên cứu và phát triển (R&D): Nghiên cứu vật liệu mới, phân tích cấu trúc vi mô.
Nhìn chung, Nikon ECLIPSE LV150N là một kính hiển thị vi công nghiệp mạnh mẽ và linh hoạt, được thiết kế để cung cấp hiệu suất quang học cao và khả năng đo lường chính xác, đáp ứng các yêu cầu mạnh mẽ của các ứng dụng công nghiệp hiện đại.
Hệ thống quang học CFI60-2/CFI60: Nikon ECLIPSE LV150N sử dụng hệ thống quang học CFI60-2/CFI60 tiên tiến của Nikon, đảm bảo hình ảnh sắc nét, độ phân giải cao và quang sai được hiệu chỉnh tốt.
Vật kính: Tương thích với nhiều dòng vật kính công nghiệp của Nikon, bao gồm:
Epi Plan Fluor: Cung cấp hiệu suất hiệu chỉnh quang sai màu vượt trội, xuất khẩu số (NA) cao và khoảng cách làm việc dài ở mọi chế độ phóng đại.
TU Plan EPI ELWD (Khoảng cách làm việc cực dài) / BD (Trường sáng/Trường tối): Các vật kính này được thiết kế đặc biệt cho các ứng dụng cần có khoảng cách làm việc lớn, hỗ trợ cả quan sát trường sáng và tối.
CFI L Plan EPI CR: Kính hiển vi có tính năng điều chỉnh mẫu kính dày đặc.
CFI IC EPI Plan TI/DI: Vật kính cho kỹ thuật giao thoa kế (Giao thoa kế).
Trường nhìn: Chiều rộng trường nhìn (FOV) được hỗ trợ thường xuyên, ví dụ tùy chọn 22mm hoặc 25mm vào loại ống kính và kính hiển thị.
2. Ánh sáng hệ thống:
Đèn phản xạ (Đèn chiếu sáng Episcope):
LV-UEPI-N / LV-UEPI2: Đèn halogen 12V50W tiêu chuẩn (LV-LH50PC Precentered Lamphouse) cho các kỹ thuật quan sát trường sáng (Brightfield - BF), trường tối (Darkfield - DF), phân cực (Polarizing - POL) và tương phản giao thoa vi sai (Differential Interference Contrast - DIC).
LV-LL LED Lamphouse: Đèn LED chiếu sáng tùy chọn cho các ứng dụng trường sáng, tiết kiệm năng lượng và tuổi thọ cao.
Có thể tích hợp thêm đèn huỳnh quang phản xạ (Epi-Huỳnh quang) với công nghệ "mắt ruồi" để chiếu sáng đồng đều và bộ chuyển đổi tự động các phần tử quang học.
Đèn truyền qua (Chiếu sáng Diascope): Tùy chọn có sẵn cho các ứng dụng cần quan sát mẫu trong suốt.
3. Khả năng quan sát (Phương pháp tương phản):
Nikon ECLIPSE LV150N cực kỳ linh hoạt và có thể thực hiện nhiều kỹ thuật quan sát khác nhau:
Trường sáng (Brightfield - BF): Tiêu chuẩn, khảo sát các mẫu vật bằng truyền sáng hoặc phản xạ.
Trường tối (Darkfield - DF): Phát hiện các vết xước nhỏ, chiết khấu bề mặt hoặc các hạt nhỏ trên bề mặt mẫu vật.
Phân cực (Polarizing - POL): Quan sát các vật liệu có tính chất lưỡng chiết (lưỡng chiết), như khoáng chất, polymer, tinh thể.
Tương phản giao tiếp sai lệch (Độ tương phản nhiễu khác biệt - DIC): Tạo hình ảnh có độ tương phản cao, nổi khối cho các mẫu không màu và trong suốt.
Huỳnh quang phản xạ (Epi-Huỳnh quang): Quan sát các mẫu vật phát quang, hữu ích trong sinh học và kiểm tra chất bán dẫn.
Giao thoa kế hai cụm tia (Giao thoa hai chùm tia): Để đo dày lớp mỏng, độ bề mặt.
4. Cơ chế điều chỉnh:
Điều chỉnh tiêu cự (Cơ chế lấy nét): Núm điều chỉnh thô và tinh đồng trục.
Hành trình: 40mm.
Điều chỉnh thô: 14 mm/vòng (có mô-men xoắn điều chỉnh và cơ chế lấy lại cơ chế).
Điều chỉnh tinh: 0,1 mm/vòng (1 µm/vách chia).
Bàn đặt mẫu (Stages):
Có nhiều bàn học đơn giản được lựa chọn với các kích thước hành động khác nhau:
LV-S32 (75x50mm)
LV-S64 (150 x 100mm)
LV-S6 (150 x 150mm)
Có thể trang bị các phụ kiện như tấm kính ESD (tấm ESD) hoặc tấm wafer hỗ trợ.
Khả năng tải xuống tối đa và hợp lý tối đa các mẫu vật liệu có kích thước lớn và chiều cao cho các doanh nghiệp mẫu.
5. Ống kính và máy ảnh:
Ống kính:
Ống thị kính ba mắt LV-TI3 ESD: Ống ngắm ba mắt (trincular) với hình ảnh thẳng (Ảnh dựng) và trường nhìn 22/25. Có khả năng chống tĩnh điện (ESD).
Ống thị kính ba trục nghiêng LV-TT2: Ống ngắm ba mắt có thể điều chỉnh góc nghiêng, mang lại sự thoải mái tối ưu.
Ngoài ra còn có các tùy chọn ống hút (ống nhòm) với hình ảnh đảo ngược hoặc thẳng.
Tích hợp máy ảnh: Có thể tích hợp dễ dàng với các kỹ thuật số của máy ảnh Nikon Digital Sight và phần mềm NIS-Elements để chụp ảnh, quay video, đo đạc và phân tích hình ảnh. Khi sử dụng với ống kính thông minh (LV-NU5I) và bộ điều khiển LV-ECON E, kính hiển thị vi có thể tự động phát hiện vật kính, cường độ sáng và các thông số khác, giúp tối ưu hóa công việc quy trình.
6. Khả năng chống tĩnh điện (Hiệu suất ESD):
Được thiết kế để chế tạo các tiêu chuẩn chống tĩnh điện, với khả năng phóng điện từ 1000V xuống 10V trong vòng 0,2 giây, rất quan trọng khi kiểm tra các linh kiện điện tử nhạy cảm.
