MM Stage dành cho kính hiển vi đo lường Nikon
Các mẫu được nạp và di chuyển theo hướng X/Y và mức độ di chuyển được đọc.
PS 12x8C
PS 10x6B
PS 8x6B
PS 6x4B
PS 4x4B
SPS 2x2B
Vai trò tầm quan trọng của Giai đoạn trong Máy đo Nikon MM
-
Định vị chính xác: Giai đoạn cho phép người dùng chuyển mô hình theo cách chính xác theo trục X và Y (ngang và dọc) để định vị các điểm hoặc khu vực cần đo dưới ống kính.
-
Đo kích thước: Bàn đặt mẫu của Nikon MM cân bằng quang học (thang đo tuyến tính) siêu chính xác trên trục X và Y (và cả trục Z đối với các mô hình có trục Z), giúp đo khoảng cách di chuyển của mẫu vật với độ phân giải rất cao (thường là 0,01 µm hoặc thấp hơn).
-
Hỗ trợ đo 3D: Với các mô hình có khả năng đo trục Z (chuyển động theo chiều cao), giai đoạn cùng với hệ thống lấy nét (hệ thống lấy nét) giúp xác định chiều cao, độ sâu hoặc độ cao của bề mặt mẫu vật.
- Chịu tải trọng: Giai đoạn được thiết kế để đảm bảo khối lượng của mẫu vật, đảm bảo ổn định và không bị biến dạng khi đo.
Các thông số kỹ thuật của "MM stage" (bàn soi) thường gắn liền với hiệu suất tổng thể của kính hiển vi đo lường MM Series. Dưới đây là các thông số chung, có thể thay đổi tùy thuộc vào model cụ thể (MM-200, MM-400, MM-800) và cấu hình:
- Hành trình di chuyển XY (Stage Travel):
- MM-200: Thường có hành trình tiêu chuẩn như 50 x 50 mm (2x2 inch).
- MM-400N Series: Có các tùy chọn bàn soi như 150 x 100 mm (6x4 inch), 100 x 150 mm (4x6 inch), 150 x 150 mm (6x6 inch) hoặc nhỏ hơn.
- MM-800N Series: Hỗ trợ các bàn soi lớn hơn, lên đến 300 x 200 mm (12x8 inch) hoặc 200 x 300 mm (8x12 inch).
- Độ chính xác bàn soi (Stage Accuracy):
- Đây là một thông số cực kỳ quan trọng, thường được biểu thị dưới dạng công thức phụ thuộc vào chiều dài đo (L). Ví dụ:
- Tiêu chuẩn: (2.5+L/50)μm
- Độ chính xác cao (Type 1): (2.0+L/50)μm
- Độ chính xác cao nhất (Type 2 - chỉ MM-800): (1.5+L/100)μm
- Trong đó L là chiều dài đo bằng mm.
- Độ phân giải thước đo (Scale Resolution): Thường là 0.01 µm, 0.1 µm (mặc định), 1 µm, hoặc 10 µm (có thể lựa chọn).
- Khả năng chịu tải trọng tối đa (Max. Loading Weight):
- MM-200: Khoảng 2 kg (để đảm bảo độ chính xác), 5 kg (để vận hành).
- MM-400N/800N: Có thể lên đến 20 kg (đối với mẫu lớn).
- Hành trình Z (Z-stroke - lấy nét):
- MM-200: Khoảng 110 mm.
- MM-400N/800N: Lên đến 150 mm hoặc 200 mm.
- Cơ chế lấy nét Z-axis: Có thể là thủ công (núm chỉnh thô/tinh) hoặc điều khiển bằng động cơ (motorized Z-axis) với tốc độ lên tới 10 mm/giây cho các mẫu MM-400/800LM. Một số model cao cấp còn có tùy chọn lấy nét tự động bằng laser (TTL Laser AF) với độ lặp lại cao (ví dụ: 0.5 µm).
- Hệ thống chiếu sáng:
- Diascopic (truyền qua): LED trắng tích hợp (tiêu chuẩn), hoặc tùy chọn đèn halogen 12V-50W.
- Episcopic (phản xạ): LED trắng tích hợp (tiêu chuẩn), hoặc tùy chọn đèn vòng 8 phân đoạn (8-segmented ring light) với góc chiếu 30°, và các bộ chiếu sáng phản xạ phổ quát (universal epi-illuminator).
- Tương thích phần mềm: Hệ thống bàn soi tích hợp hoàn toàn với phần mềm đo lường của Nikon như E-MAX hoặc NIS-Elements để thu thập dữ liệu, phân tích và xuất báo cáo.
- Thiết kế: Là một phần của hệ thống kính hiển vi đứng (upright microscope).
Để có thông số kỹ thuật chính xác nhất, bạn nên tham khảo tài liệu kỹ thuật của model kính hiển vi đo lường Nikon MM Series cụ thể mà bạn quan tâm (ví dụ: MM-200, MM-400N, MM-800N) trên trang web chính thức của Nikon Industrial Metrology hoặc liên hệ với đại lý của Nikon tại Việt Nam là NIVINA - 096 465 0110