Bao gồm nhiều quy mô khác nhau
Các công nghệ đo lường 3D của S neox bao phủ một phạm vi rộng các thang đo, bao gồm hình dạng ( Ai Focus Variation ), độ nhám dưới nanomet ( Interferometry ) hoặc các kích thước quan trọng đòi hỏi độ phân giải ngang cao cũng như độ phân giải dọc ( Confocal ).
CÔNG NGHỆ ĐO LƯỜNG
Tính linh hoạt tối đa
Hệ thống năm trục cho phép thực hiện các phép đo bề mặt 3D tự động tại các vị trí xác định và kết hợp chúng để tạo ra phép đo thể tích 3D hoàn chỉnh hoặc để kiểm tra độ hoàn thiện bề mặt tại các vị trí cụ thể xung quanh mẫu.
Đo lường 3D hoàn chỉnh
Hệ thống S neox Five Axis có thể đo mẫu ở các vị trí xoay và độ cao khác nhau (góc nhìn), tạo ra một nhóm các phép đo riêng lẻ. Phần mềm SensoFIVE sẽ kết hợp tất cả các bề mặt, cung cấp một bề mặt mẫu có độ chính xác cao bằng cách sử dụng thông tin hình ảnh xếp chồng của từng phép đo bề mặt riêng lẻ. Hệ thống có thể cung cấp thông tin về hình dạng và cấu trúc của các cạnh sắc nhọn và/hoặc các bề mặt quan trọng bằng cách kết hợp các độ cao khác nhau.
KẾT NỐI CÁC BỀ MẶT TIỀN LIỀN KỀ
Đo các góc lớn hơn 90º
Việc đo các bề mặt phức tạp có góc nghiêng lớn rất khó khăn do hiệu ứng bóng đổ khiến việc thu được phép đo hoàn chỉnh chỉ trong một lần đo duy nhất trở nên bất khả thi. Cần phải nghiêng mẫu để đo từ hai vị trí khác nhau và kết hợp hai kết quả đo địa hình để có được phép đo hoàn chỉnh. Bàn xoay năm trục cho phép định vị mẫu theo hai hướng ngược nhau để hiển thị toàn bộ bề mặt. Máy đo địa hình quang học 3D sẽ thu thập các phép đo riêng lẻ, sau đó tự động kết hợp chúng để có được phép đo thể tích 3D hoàn chỉnh.
VỊ TRÍ TRỤC ĐA DẠNG
Các phép đo không giới hạn
Nhờ các quy trình tự động hóa, việc đo các phần khác nhau của mẫu chỉ bằng một cú nhấp chuột. Giao diện thân thiện với người dùng cho phép bạn tìm vị trí đo mà không bị hạn chế. Sau đó, tập trung vào các phần quan trọng của mẫu và thêm chúng vào quy trình tự động hóa. Cuối cùng, nhấp vào "Thu thập" để có được tất cả các phần đã đo chỉ với một cú nhấp chuột duy nhất. Đây là một cách cực kỳ nhanh chóng và dễ dàng để tự động hóa các quy trình đo.
ĐO ĐỘ HOÀN THIỆN BỀ MẶT
Chính xác và đáng tin cậy
Công nghệ Confocal và Interferometry của chúng tôi cho phép bạn đo các bề mặt với bất kỳ độ nhám nào, từ cực kỳ nhám (điển hình trong các ứng dụng sản xuất bồi đắp) đến các bề mặt phản xạ cao cỡ 1 Å như bề mặt giống gương kim cương. Chuyển đổi máy đo độ nhám quang học 3D của chúng tôi thành các phép đo lặp lại và có thể truy vết, theo các tiêu chuẩn độ nhám NPL, NIST và PTB . Công nghệ Ai Focus Variation cung cấp phản hồi dễ dàng và nhanh chóng để đo các độ dốc nổi bật một cách độc lập với các thấu kính mục tiêu.
Hiệu Suất Thấu Kính Mục Tiêu
Trường Sáng
| NA |
0,15 |
0,30 |
0,45 |
0,80 |
0,90 |
0,90 |
| WD (mm) |
23,5 |
17,5 |
4,5 |
1.0 |
1.0 |
1,5 |
| FOV 1 (µm) |
3378 x 2826 |
1689 x 1413 |
845 x 707 |
338 x 283 |
169 x 141 |
113 x 94 |
| Lấy mẫu không gian 2 (µm) |
1,38 |
0,69 |
0,34 |
0.13 |
0,07 |
0,05 |
| Độ phân giải quang học 3 (µm) |
0,94 |
0,47 |
0.31 |
0,18 |
0,16 |
0,16 |
Biến thể tiêu điểm Confocal / Ai
| Nhiễu hệ thống 4 (nm) |
100 |
30 |
8 |
4 |
3 |
2 |
| Độ dốc tối đa 5 (º) |
9 |
17 |
27 |
53 |
64 |
64 |
1 Góc nhìn tối đa với camera 3/2” và quang học 0.5X. 2 Kích thước pixel trên bề mặt. 3 L&S: Đường và Khoảng cách. Giá trị cho đèn LED xanh lam. 4 Độ nhiễu hệ thống được đo bằng hiệu số giữa hai phép đo liên tiếp trên gương hiệu chuẩn đặt vuông góc với trục quang học. 5 Trên bề mặt nhẵn, lên đến 71º. Trên bề mặt tán xạ, lên đến 86º.
Giao thoa Kế
| NA |
0,14 |
0,10 |
0,28 |
0,10 |
0,38 |
0,50 |
0,70 |
| WD (mm) |
13.0 |
25.0 |
8.0 |
16.7 |
6.0 |
3.6 |
2.0 |
| FOV 1 (µm) |
3378 x 2826 |
1689 x 1413 |
1689 x 1413 |
845 x 707 |
845 x 707 |
338 x 283 |
169 x 141 |
| Lấy mẫu không gian 2 (µm) |
1,38 |
0,69 |
0,69
|
| Các sản phẩm cùng loại khác |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
