Nexiv NWL200 Wafer Loader
Với kỹ thuật độc đáo của Nikon Ultra Thin-Wafer 100um truyền tải ổn định
Trong quy trình sản xuất bán dẫn, độ dày Wafer xu hướng mỏng dần
NWL200 bằng kỹ thuật cao lần đầu tieen100um Wafer có thể dùng trong Wafer Loader
Trang bị truyền tải độ tin tưởng cao thích hợp với việc kiểm tra hệ bán dẫn
Tính năng chính
Thông số kỹ thuật
Kỹ thuật độc đáo có thể truyền tải wafer siêu mỏng ổn định
Khả năng đáp ứng Ultra Thin Wafer 100um
Bằng cách dùng đơn vị hấp thụ mới việc truyền tải wafer siêu mỏng 100um ổn định
Wafer-Edge chính xác
Thêm tính năng kiểm tra Wafer-Edge Chipping (chọn)
Tự động vận hành soi lỗi edge chipping mà không thể làm được trong wafer loader kính hiển vi thông thường
Thêm tính năng vào việc kiểm tra vĩ mô front/back side, mọi việc kiểm tra vĩ mô đều có thể
Edge lỗi là một trong những nguyên nhân hư hỏng wafer
Khả năng hoạt động vượt trội
Sử dụng Wafer Slot Button nâng cao tính hoạt động
Sử dụng wafer slot button có thể chọn wafer lưu trữ trong carrier bằng 1nút bấm
Với việc kiểm tra tự động hóa tính năng quản lý file Sample, Carrier một cách hiệu quả
Dễ dàng kiểm tra được nội dung lỗi, trạng thái hoạt động và việc cài đặt trên màn hình LCD
Thiết kế phù hợp với người sử dụng 
Tư thế tự nhiên
Hệ điều hành thiết kế phía trước nên dễ dàng vận hành trong khi quan sát
Carrier đặt ở vị trí góc 35° hướng dịch chuyển nên dễ dàng xác minh được vị trí wafer trong Carrier
Hiệu quả công việc cao 
Vận hành lên xuống tốc độ cao
Alignment chính xác do Centering không tiếp xúc
Thao tác loading/unloading hiệu quả với phương thức Multi-Arm
Ngăn chặn ô nhiễm cần cho việc thích ứng Wafer tích hợp
Để ngăn chặn phát sinh bụi do va đập hoặc ma sát khi Wafer centering sử dụng centering không tiếp xúc dựa trên sense
Đảm bảo luồng khí sạch đáp ứng Down Flow
Trang bị các loại nguồn sáng và kiểm tra macro tính năng cao
Gắn thiết bị tiêu chuẩn kiểm tra các loại macro
Gắn trên thông số kỹ thuật căn bản, module kiểm tra macro quanh mặt sau/ trung gian bề mặt/ bề mặt
Khả năng tự động cài đặt độ nghiêng, tôc độ xoay và khả năng vận hành thụ động bằng cần điều khiển khi kiểm tra macro
Trên bề mặt wafer cho trang bị nguồn sáng WIL-LED có thể cân bằng độ sáng
Remote Access Tool
Tính năng WEB server được trang bị và khi LAN nối kết với PC, có thể tạo công thức kiểm tra hoặc Data Back-Up
