Đo sản phẩm dễ xước hoặc sản phẩm có hình dạng nhỏ khó đo bằng phương pháp tiếp xúc dựa trên cảm biến theo phương thức tiêu điểm tự động, có tính tương đương cao với phương pháp đo tiếp xúc
Thiết bị đo biên dạng và kết cấu bề mặt tự động lấy tiêu điểm đạt chuẩn ISO25178-605.
Dữ liệu đồng nhất cao với loại thiết bị sử dụng đầu đo
Máy sử dụng tính năng tự động lấy tiêu điểm, đồng thời còn có chức năng đồng bộ dữ liệu cao với máy đo loại sử dụng đầu đo mà không bị ảnh hưởng bởi tỷ lệ phản chiếu và màu sắc của phôi.
Đo phạm vi rộng
Dải đo rộng của trục Z: 10 mm và X: 200 mm.
Ngoài ra có thể đo loại phôi lớn.
Ví dụ về đo mẫu chuẩn (Halle SN6349: Ra = 0,0860 μm)
