-
Máy đo này sử dụng một giao thoa kế laser sợi quang học, một trong những công nghệ làm nên tiếng tăm cho Tokyo SEIMITSU và tích hợp một giao thoa kế laser quang lộ có độ ổn định cao mới phát triển có độ phân giải 0,31 nm.
-
Hệ thống này có dải tần nhạy sáng cũng như tỷ lệ độ phân giải là 42.000.000 : 1. Điều này có nghĩa là trong một lần đo duy nhất bạn có thể đánh giá các biên dạng viền trên phạm vi rộng và bề mặt nhỏ, khuất.