Chức năng này tự động xác định loại yếu tố (điểm, đường thẳng, hình tròn).
Chức năng hiển thị đường kích thước (TiMS)
Có thể hiển thị các giá trị đo thực tế cho các thông số và độ lệch hình học trên đồ thị.
Những hạn chế về phạm vi phân tích do góc đầu dò được giải quyết với chức năng tổng hợp.
Chức năng này cho phép xác định điểm phôi tối đa bằng cách đo với đầu dò, đơn giản hóa canh chỉnh.
Có thể thực hiện việc phân tích phôi tổng thể sau khi hoàn thành chỉ một phân tích mẫu đối với những phôi có hình dạng lặp đi lặp lại nhất định.
