Mô Tả Chung về Nikon NWL200 Wafer Loader

Nikon NWL200 là một giải pháp tự động hóa tiên tiến cho việc kiểm tra wafer trong quy trình sản xuất bán dẫn. Nó được thiết kế để đảm bảo việc xử lý wafer an toàn, nhanh chóng và chính xác, đặc biệt là với các tấm wafer ngày càng mỏng.

Các đặc điểm nổi bật:

• Tương thích wafer mỏng: NWL200 là một trong những hệ thống đầu tiên có khả năng xử lý an toàn các tấm wafer siêu mỏng, xuống tới 100 micromet (µm). Điều này rất quan trọng trong ngành bán dẫn hiện đại.
• Xử lý không tiếp xúc: Sử dụng cơ chế kẹp và căn chỉnh không tiếp xúc để giảm thiểu bụi bẩn do ma sát và va chạm, duy trì môi trường phòng sạch (clean room).
• Phát hiện wafer nâng cao: Cải thiện chức năng cảm biến wafer để phát hiện chính xác biến dạng của wafer mỏng trong cassette, giúp ngăn ngừa hư hại do cánh tay chuyển động.
• Chống nhiễm bẩn: Vỏ được làm từ thép không gỉ để ngăn ngừa tích tụ tĩnh điện và bụi bẩn. Hệ thống được cấu hình để không làm gián đoạn luồng khí sạch trong phòng sạch.
• Hiệu suất cao (High Throughput): Thang máy cassette wafer nhanh và cơ chế căn chỉnh không tiếp xúc giúp căn chỉnh wafer nhanh chóng và chính xác, tăng cường hiệu quả tổng thể của quá trình chuyển và trao đổi wafer.
• Tính năng kiểm tra Macro: Hỗ trợ kiểm tra macro (quan sát tổng thể) cả mặt trước (pattern side), vùng rìa mặt sau (back side periphery) và trung tâm mặt sau (back side center) của wafer. Tốc độ quay wafer và góc nghiêng có thể được cài đặt tự động hoặc thủ công.
• Vận hành dễ dàng và công thái học: Các nút bấm chọn khe wafer được bố trí tiện lợi ở mặt trước. Giao diện LCD lớn giúp tương tác nhanh chóng. Thiết kế công thái học giúp người vận hành thao tác thoải mái.
• Đáng tin cậy cao: Đảm bảo an toàn cho wafer ngay cả khi mất điện đột ngột (chuck chân không của cánh tay macro vẫn hoạt động để giữ wafer).
• Kết nối mạng: Tích hợp công cụ hỗ trợ truy cập web server từ xa, cho phép tạo và sao lưu các công thức kiểm tra, cũng như vận hành từ xa qua mạng LAN.
• Tuân thủ tiêu chuẩn: Tương thích với các tiêu chuẩn ngành như SEMI S2-0706, S8-0307, F47.

Ứng Dụng Nikon NWL200 Wafer Loader

Nikon NWL200 được ứng dụng chủ yếu trong ngành sản xuất bán dẫn và các ngành liên quan cần xử lý và kiểm tra tự động các tấm wafer:

• Kiểm tra chất lượng wafer: Được sử dụng để tự động nạp wafer vào kính hiển vi kiểm tra (ví dụ: Nikon ECLIPSE L200N, LV150N) để tìm kiếm các khuyết tật, hạt bụi, vết xước, hoặc lỗi mẫu trong suốt các giai đoạn khác nhau của quy trình sản xuất chip.
• Phân tích lỗi (Failure Analysis): Tự động đưa wafer vào kính hiển vi để phân tích các lỗi được phát hiện.
• Đo lường tự động: Kết hợp với hệ thống đo lường video tự động như Nikon NEXIV VMZ-S để thực hiện các phép đo tự động với độ chính xác cao trên wafer.
• Kiểm soát quy trình sản xuất (Process Control): Hỗ trợ giám sát và kiểm soát chất lượng trong các dây chuyền sản xuất bán dẫn.
• Nghiên cứu và phát triển (R&D): Hỗ trợ tự động hóa các quy trình thử nghiệm và phân tích wafer trong phòng thí nghiệm.

Liên hệ Đại lý chính hãng NIKON tại Việt Nam:

CÔNG TY TNHH NI VINA

VP Hà Nội:  Ô DV3-2.10, tầng 2, Tòa nhà CT2&3, KDT Dream Town,Tây Mỗ, Nam Từ Liêm, Hà Nội

VP HCM: Số 77, Tân Quỳ Tân Quý, Phường Tân Sơn Nhì, Quận Tân Phú, TPHCM

Hotline: 096.465.0110/ Email:marketing@nivina.com.vn

Fanpage: Thiết bị đo kiểm Nivina

Zalo OA: NI VINA instruments