Độ chính xác quay: 0,04 μm (JIS B7451)
Độ thẳng của trụ: 1,3 μm/700 mm (Khi sử dụng dụng cụ đo trục dài 700mm)
Dòng máy đầu tiên được sử dụng đệm khí độ chính xác cao cho các trục X, Y ,Z và θ
Bàn và trụ được dùng loại đá tự nhiên, là dòng cao cấp đảm bảo độ chính xác vĩnh cửu.
Điều khiển 7 trục hoàn toàn tự động
Xác thực độ thẳng của bàn XY và trục R
Với việc xác thực độ thẳng của bàn, cho phép khả năng đánh giá độ song song giữa các lỗ của khối cylinder.
Tốc độ truyền động tối đa: 100 mm/s, Thời gian đo rút ngắn giúp cải thiện hiệu suất
Đo tự động hoàn toàn nhiều loại phôi
Chức năng tự động gọi chương trình con (tùy chọn)
Chịu được tải trọng 1 tấn (tùy chọn)
Thích ứng với khoảng hành trình trục Z 1.500 mm (tùy chọn)
Trục khuỷu
Khối hình trụ